Описание
Описание
Автоматическая система JS1000 на базе стилусного профилометра обладает высокой точностью, высоким разрешением и надёжной встроенной рамой с гранитным коснованием, обеспечивающей стабильные, надежные и повторяемые измерения. Система оснащается модулем загрузки пластин из SMIF контейнера с загрузчиком, позволяя осуществлять рутинные исследования тестовых и критических областей в автоматическом режиме.
Основные преимущества:
- полностью автоматическая система контроля, обеспечивает высокую скорость работы и точность измерений;
- конструкция, использующая сочетание сигнала прецизионных тензометрических датчиков и сканеров перемещения, обеспечивает высочайшую точность и повторяемость результатов измерений.
| Тип | Автоматический |
|---|---|
| Диаметр образца (пластины), мм | 150, 200, 300 |
| Разрешение по оси Z, нм | 0,1 |
| Перемещение столика по X-Y, мм | 140/200/300 |
| Скорость сканирования, мкм/с | 5-50 |
| Максимальная длина сканирования, мм | 40 |
| Макс. количество точек сбора данных на одно сканирование | 200000 |
| Диапазон усилия зонда, мг | 1-15 |
| Максимальный перепад высоты измерения, мкм | 80 |
| Макс. вес образца, кг | Любой |
| Типы используемых зондов | Стандартный зонд Радиус кривизны острия ≥2 мкм Угол сужения 60°, Субмикронный зонд Радиус кривизны острия ≥1 мкм Угол сужения 60° |
| Точность удержания плоскости сканирования | 20 нм/2 мм |
Отзывы
Отзывов еще никто не оставлял
