Описание
Описание
Полуавтоматический стилусный профилометр JS100, имеет высокую точность и разрешение, что обеспечивает проведение стабильных и надежных измерений. JS100 оснащен двумя цветными камерами для одновременного изображения образца и кончика стилуса, что облегчает обнаружение интересующих областей.
Основные преимущества:
- точность измерений находится на уровне одного нанометра, при стандартном отклонении менее 3 нм;
- шаг высоты измеряемого образца находится в диапазоне 0-6 мм, имеется возможность перенастройки оборудования для проведения измерений в других пределах;
- прибор имеет модульную конструкцию, что упрощает и ускоряет его установку и техническое обслуживание.
| Тип | Полуавтоматический |
|---|---|
| Диаметр образца (пластины), мм | 150, 200, 300 |
| Разрешение по оси Z, нм | 0,1 |
| Перемещение столика по X-Y, мм | 140/200/300 |
| Скорость сканирования, мкм/с | 5-50 |
| Максимальная длина сканирования, мм | 40 |
| Макс. количество точек сбора данных на одно сканирование | 200000 |
| Диапазон усилия зонда, мг | 1-15 |
| Максимальный перепад высоты измерения, мкм | 80 |
| Макс. вес образца, кг | Любой |
| Типы используемых зондов | Стандартный зонд Радиус кривизны острия ≥2 мкм Угол сужения 60°, Субмикронный зонд Радиус кривизны острия ≥1 мкм Угол сужения 60° |
| Точность удержания плоскости сканирования | 20 нм/2 мм |
Отзывы
Отзывов еще никто не оставлял
