Описание
Описание
Ручной стилусный профилометр JS10 обеспечивает стабильное и надежное измерение повторяемости объектов, находящихся на поверхности образца. Измерения морфологии поверхности осуществляются с помощью алмазного зонда. Предназначен для решения задач разработки и совершенствования технологий, контроля качества и производства микроэлектроники.
Основные преимущества:
- конструктивное решение с двумя камерами гарантирует четкое и неискажённое изображение образца, а также обеспечивает контроль над состоянием зон- да в режиме реального времени в ходе сканирования;
- стабильность измерительного процесса обеспечивается жёсткой рамой.
| Тип | Ручной |
|---|---|
| Диаметр образца (пластины), мм | 150 |
| Разрешение по оси Z, нм | 0,1 |
| Перемещение столика по X-Y, мм | 50 |
| Скорость сканирования, мкм/с | 5-50 |
| Максимальная длина сканирования, мм | 40 |
| Макс. количество точек сбора данных на одно сканирование | 200000 |
| Диапазон усилия зонда, мг | 1-15 |
| Максимальный перепад высоты измерения, мкм | 80 |
| Макс. вес образца, кг | Любой |
| Типы используемых зондов | Стандартный зонд Радиус кривизны острия ≥2 мкм Угол сужения 60°, Субмикронный зонд Радиус кривизны острия ≥1 мкм Угол сужения 60° |
| Точность удержания плоскости сканирования | 20 нм/2 мм |
Отзывы
Отзывов еще никто не оставлял
