Прямой ультрафиолетовый микроскоп Leica DM8000 / DM12000 для контроля полупроводниковых пластин в микроэлектронике.
Данный микроскоп позволяет работать на сверхпредельном оптическом разрешении, благодаря освещению УФ 365нм и косому освещению. Пользователь может различить видимые структуры в 160 нм.
Общие технические характеристики микроскопа:
- Образцы размером до 8” / 200 мм или до 12” / 300 мм;
- Методы контрастирования: светлое, темное поле, поляризация, ДИК, ультрафиолетовое освещение UV и OUV, наклонное освещение, макро режим, ИК;
- Светодиодное освещение, интегрированное в микроскоп поддерживает все режимы контрастирования с постоянной цветовой температурой и работает до 20 000 часов;
- Возможность работы в проходящем и отраженном свете;
- Моторизированная или ручная система фокусировки;
- Увеличение от 7х до 1500х, опционально до 3000х;
- Работа в макро режиме при помощи объектива 0.7х, апертурой 0.02, рабочей дистанцией 7.2мм, диаметром 32мм.
- Набор полуапохроматических и апохроматических объективов (0.7х, 10х, 20х, 50х, 100х, 150x);
- Инспекционный ручной стол размером 8” с ходом 202х202мм для Leica DM8000, с возможностью вращения столика для выравнивания пластин или моторизованный инспекционный стол размером 8” с ходом 202х202мм, разрешением по XY 0,01 мкм, скорость хода 240мм в секунду, воспроизводимость < 1 мкм;
- Инспекционный ручной стол размером 12” с ходом 302х302мм для Leica DM12000, с возможностью вращения столика для выравнивания пластин или моторизованный инспекционный стол размером 12” с ходом 302х302мм, разрешением по XY 0,01 мкм, скорость хода 240мм в секунду, воспроизводимость < 1 мкм;
- Держатели пластин на 6-8” или 8-12” с возможность установки вакуума и держателя маски;
- Программное обеспечение позволяет проводить геометрические измерения, создавать панорамные изображение с повышенной глубиной фокуса и просматривать полученные изображения. В базовом наборе рекомендуем приобретать модуль для линейных измерений, модуль для автофокуса и модуль для получения панорамных изображений по XY.
